部分放電是指絕緣體係中隻要部分區域在電場作用下，該區域的電場強度達到了擊穿場強而發生放電，但沒有擊穿。當電壓施加於絕緣體，其內部或許表麵存在的氣泡會先發生放電而其他部分介質繼續堅持絕緣，這是最常常構成絕緣體部分放電的原因。發生氣泡的原因許多，如製作進程中發生的殘留氣隙，不同材料組合絕緣因為膨脹係數差異逐漸發生裂縫，高分子材料老化蒸騰，高場強作用使得電荷不斷注入導體引起注入點氣化，等等。

   除氣泡外，絕緣體中存在導電雜質使得雜質邊際電場會合，也會引起局放。導體表麵存在毛刺或導體自身就是針尖狀的，會引起電場會合於針尖狀附近。當電工產品中的某個金屬部件無電銜接而成為一個懸浮電位體或導體銜接點間接觸不良，會在該處呈現很高的電位差，引起局放。除電工設備內部外，電工設備的接頭，如電力電纜的終端和中心接頭，因為場強會合也易引發局放，構成絕緣毛病。

  局部放電巡檢儀常發生在氣隙中，氣體放電的根本放電機理為電子磕碰電離和流注放電兩類。電場作用不斷激起出新的自由電子，這一現場稱為電子崩。電子朝正電極方向展開，磕碰發生的正離子向陰極移動並炮擊陰極表麵，使陰極發射出二次電子，這樣就堅持了氣隙放電。當電極間距離較大，絕緣中存在長空隙時，光致電離同電子磕碰電離一齊對氣隙放電起作用。電子磕碰電離發生時，當離子和電子的濃度很高時，會發生複合放出光子，光子會激起中性分子繼續電離放出電子，這就發生了二次電子崩。二次電子崩與初次電子崩的集合敏捷擴大了等離子區，當等離子區貫穿兩個電極時，氣隙就會發生放電，這個進程就是流注放電。光致電離的速度快於電子磕碰電離使得流注放電速度比單靠電子磕碰電離引起的放電速度快。